气冷罗茨真空泵
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水环罗茨真空机组工作原理的基本介绍

发布日期:2019-07-06 作者: 点击:

水环罗茨真空机组

在选择前级泵时也考虑了水环罗茨真空机组的Z终压力要求。对极限真空的要求很高(高达1×10-3Pa~1×10-2Pa的压力)。通常使用双级旋转叶片油封?;当没蛄郊痘当糜米髑凹侗?。极端真空需要单级油封机械泵作为(1×10-2Pa和1×10-1Pa)之间的前级泵。极端真空需要往水环罗茨真空机组或液环在133和1333pa之间。真空泵用作前级泵。

当选用往复式或液环式粗真空泵作为水环罗茨真空机组的前级泵时,前级泵的抽速一般为水环罗茨真空机组的1 / 2-1 / 4,不能太大,否则将超过压缩比。很大,导致水环罗茨真空机组的排气温度很高,无法正常工作。选择前级泵时,还必须考虑水环罗茨真空机组泵送气体中是否存在腐蚀性介质,是否含有可冷凝气体,无论是大还是小。如果含有腐蚀性气体,则不能使用油封机械泵。油封机械泵不适合抽出含有大量可冷凝蒸汽的气体。否则,密封液将快速乳化,并且将除去含有可追踪可冷凝蒸汽的气体。同时,还必须使用带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵。

为了在低入口压力(1-100pa)下获得高泵送速率,水环罗茨真空机组可用作三级或四级单元,其由另一个罗水环罗茨真空机组的前级泵组成。泵送速度比通常在2和5之间。


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